质量流量控制器        型号；MHY-22516

MHY-22516型 质量流量控制器

仪器简介：

质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量行密地测量和控制。广泛用于电子艺设备、真空镀膜、石油化、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

术参数：

满量程流量范围（N2）        5SCCM～10SLM
控制范围           2～100％F.S.
阀类型（及阀初始状态）         电磁调节阀（常闭）
准确度             ±1.5％F.S.
线性        ±0.5～1.5％F.S.
重复度           ±0.2％F.S.
响应时间           ≤7sec
作温度范围            5～45℃
作压差             0.1～0.5MPa
耐压            3MPa
漏气率           1×/sec He
密封材料              氟橡胶（或氯丁橡胶）
电插头形式                 DB15 pin（Female）
接头选择      VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose               Swagelok 1/4”或φ6、φ3
重量   1.1Kg