四探针电阻率测试仪／四探针电阻率/方阻测定仪 型号：MHY-05092

概述

MHY-05092型四探针电阻率测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》并参考美 A.S.T.M 标准。
仪器成套组成：由主机、选配的四探针探头、测试台以及PC软件等分组成。
主机主要由密恒流源、分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成，USB通讯接口。仪器主机所有参数设定、能转换采用数字化键盘和数码开关输入；具有零位、满度自校能；测试能可自动/手动方式；仪器操作可由配套软件在PC机上操作成，也可脱PC机由四探针仪器面板上立操作成。测试结果数据由主机数码管直接显示，也可连机由软件界面同步显示、分析、保存和打印！
探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。有耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；也有形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻行测量。配专用探头，也可测试电池片等箔上涂层电阻率方阻。
测试台选配：般四探针法测试电阻率/方阻配DP-A或DP-B或DP-C或DP-F型测试台。二探针法测试电阻率测试选DP-K型测试台，也可选配DP-D型测试台以测试半导体粉末电阻率，选配DP-G型测试台测试橡塑材料电阻率。

仪器具有测量度、灵敏度、稳定性好、智能化程度、测量简便、结构紧凑、使用方便等特点。
四探针电阻率测试仪适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。
三、基本术参数
3.1  测量范围
电  阻：1×10-4～2×105 Ω   ，分辨率：1×10-5～1×102 Ω
电阻率：1×10-4～2×105 Ω-cm，分辨率：1×10-5～1×102 Ω-cm    方  阻：5×10-4～2×105 Ω/□，分辨率：5×10-5～1×102 Ω/□
3.2  材料尺寸(由选配测试台和测试方式决定)
直    径：DP-A圆测试台直接测试方式 Φ15～130mm，手持方式不限
DP-B/C/F方测试台直接测试方式180mm×180mm，手持方式不限.
长()度：测试台直接测试方式 H≤100mm,    手持方式不限.
测量方位: 轴向、径向均可
3.3.  4-1/2 位数字电压表：
(1)量程： 20.00mV～2000mV
(2)误差：±0.1%读数±2 字
3.4 数控恒流源
(1)量程：0.1μA，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA，1A
(2)误差：±0.1%读数±2 字
3.5 四探针探头（选配其或加配）
(1)碳化钨探针：Φ0.5mm，直线探针间距1.0mm，探针压力: 0～2kg 可调
(2)薄膜方阻探针：Φ0.7mm，直线或方形探针间距2.0mm，探针压力: 0～0.6kg 可调
3.6. 电源
输入: AC 220V±10% ,50Hz          耗：<20W
3.7.外形尺寸：
主   机  220mm（长）×245 mm（宽）×100mm（）
净   重：≤2.5kg